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平面电机x-y步进工作台的维护与保养平面电机由定子和动子组成，它和传统的步进电机相比其特殊性就是将定子展开，定子是基础平台， 动子和定子间有一层气垫，潍坊测试治具，动子浮于气垫上，测试治具批发，而可编程承片台则安装在动子之上。这种结构的x-y工作台，由于动子和定子间无相对摩擦故无磨损，使用寿命长。而定子在加工过程中生产厂家根据不同的设计要求如分辨力等，用机加工的方法在一平面的铁制铸件上加工出若干个线槽。

探针座：有0.7um、2um、10um精度可选，磁性吸附带磁力开关可搭配Probe card测试适用领域：晶圆厂、研究所、高校等半自动型chuck尺寸800mm/600mmX，Y电动移动行程200mm/150mmchuck粗调升降9mm，微调升降16mm可搭配MITUTOYO金相显微镜或者AEC实体显微镜针座摆放个数6～8颗显微镜X-Y-Z移动范围2'x2'x2'科迪仪器科技(苏州)有限公司科迪仪器科技(苏州)有限公司

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